[发明专利]管式PECVD石墨舟安装固定夹具在审

专利信息
申请号: 201610482851.3 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN105957826A 公开(公告)日: 2016-09-21
发明(设计)人: 邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213213 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种管式PECVD石墨舟安装固定夹具,包括底板,底板上固定安装有安装块,安装块上开有直角开口,两个安装块对称设置,底板上开有螺纹孔,螺纹孔内螺纹安装有螺钉,底板上开有若干工艺孔。本发明在底板上对称安装两个安装块,在安装块上开设直角开口,在石墨舟的安装时,只需将石墨舟同一侧边上的两个直角卡设在直角开口内,并将石墨舟上的耳片通过螺钉固定在底板上即可完成石墨舟的安装固定,安装较快捷,石墨舟的固定较牢固,不易破损,不管是使用在工艺点的自动安装工序中,还是在工艺点的自动拆卸工序中,对石墨舟均起到了平面支撑作用,使石墨舟的工艺点在自动安装或拆卸时更加方便、快捷,节省了劳动时间,提高了劳动效率。
搜索关键词: pecvd 石墨 安装 固定 夹具
【主权项】:
一种管式PECVD石墨舟安装固定夹具,其特征在于:包括底板(1),所述底板(1)上固定安装有安装块(2),所述安装块(2)上开有直角开口(3),两个所述安装块(2)对称设置,所述底板(1)上开有螺纹孔(4),所述螺纹孔(4)内螺纹安装有螺钉(5),所述底板(1)上开有若干工艺孔。
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