[发明专利]氮化镓功率器件管壳接触热阻测量方法

摘要

本发明公开了一种氮化镓功率器件管壳接触热阻测量方法，涉及功率器件热阻检测技术领域。本发明包括以下步骤：用瞬态红外测温设备测量器件两种接触热阻条件下的降温曲线；用结构函数法得到两条降温曲线的两条积分结构函数曲线；利用积分结构函数曲线得到结壳热阻的值，即接触热阻的起点；平移低热阻曲线得到高热阻条件下的接触热阻，平移高热阻曲线得到低热阻条件下的接触热阻。本发明利用瞬态红外测温设备测量器件在两种不同热阻抗条件下的降温曲线，用结构函数法分析两条降温曲线，得到积分结构函数曲线，经过两次曲线对比确定接触热阻，实现对氮化镓功率器件管壳与载体接触热阻的测量，准确性高。

主权项

1.一种氮化镓功率器件管壳接触热阻测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)用瞬态红外测温设备测量被测器件(1)两种接触热阻条件即高热阻条件和低热阻条件下的两条降温曲线；2)用结构函数法得到两条降温曲线的两条积分结构函数曲线；3)利用积分结构函数曲线得到结壳热阻的值：根据瞬态双界面结壳热阻测量方法，两条积分结构函数曲线的分离点的横坐标对应的就是结壳热阻，所以通过观察两条曲线的分离点可以确定结壳热阻，此点是接触热阻的起点；4)平移低热阻曲线得到高热阻条件下的接触热阻：横向平移低热阻曲线，使其右端与高热阻曲线重合，重合的部分代表载体热阻、载体与控温平台的接触热阻，两条曲线的分离点就是高热阻条件下接触热阻的终点；平移高热阻曲线得到低热阻条件下的接触热阻：横向平移高热阻曲线，使其右端与低热阻曲线重合，重合的部分代表载体热阻、载体与控温平台的接触热阻，两条曲线的分离点就是低热阻条件下接触热阻的终点；5)高热阻条件下接触热阻的终点与接触热阻的起点之差即为高热阻条件下的接触热阻；低热阻条件下接触热阻的终点与接触热阻的起点之差即为低热阻条件下的接触热阻。