[发明专利]片盒驱动机构及装载腔室

摘要

本发明提供一种片盒驱动机构及装载腔室，包括驱动部和片盒保护部，其中，驱动部用于驱动片盒自水平位置向上倾斜；片盒包括底板和设置在其上的支架和背板，支架用于承载晶片；背板位于支架的一侧，用以在底板倾斜时支撑晶片的边缘。片盒保护部用于在驱动部驱动底板返回水平位置的过程中，推动晶片朝向远离背板的方向移动，并在底板位于水平位置时，与晶片相分离。本发明提供的片盒驱动机构，其可以避免背板出现磨损，从而不仅可以延长片盒的使用寿命，而且可以减少因背板出现磨损对晶片造成的损伤，从而可以保证晶片质量。

主权项

1.一种片盒驱动机构，包括驱动部，用于驱动所述片盒自水平位置向上倾斜；所述片盒包括底板和设置在其上的支架和背板，所述支架用于承载晶片；所述背板位于所述支架的一侧，用以在所述底板倾斜时支撑所述晶片的边缘，其特征在于，所述片盒驱动机构还包括：片盒保护部，用于在所述驱动部驱动所述底板返回所述水平位置的过程中，推动所述晶片朝向远离所述背板的方向移动，并在所述底板位于所述水平位置时，与所述晶片相分离；所述片盒保护部包括推动部件、偏心轮和连杆，其中，在所述背板上设置有贯穿其厚度的第一空槽，所述偏心轮通过旋转轴可旋转的设置在所述第一空槽中，所述旋转轴分别与所述背板和所述底板所在平面相平行，且所述旋转轴平行且偏离所述偏心轮的中心轴；所述推动部件位于所述背板与所述晶片之间，且与所述偏心轮的连接被设置为：在所述偏心轮旋转时，通过保持与所述偏心轮的中心之间的间距相同，实现在水平方向上作往复运动；所述驱动部通过所述连杆驱动所述偏心轮围绕所述旋转轴偏心旋转。