[发明专利]一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法有效
| 申请号： | 201610488279.1 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN106098865B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 胡夕伦;陈康;申加兵;闫宝华;刘琦 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B28D5/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法，先将晶片进行粗磨，然后进行精磨，完毕后，如发现晶片边缘出现碎纹、碎裂、划伤、脱落等异常，则首先对铜盘进行擦拭，去除表面可能含有的颗粒残渣、晶片废渣等，然后向铜盘表面喷洒无水乙醇与去离子水的混合液，喷洒完毕后先旋转铜盘再开启研磨液将其均匀覆盖在铜盘表面，继续进行后续精磨作业。本发明操作简单，易实现，只需借助无水乙醇和去离子水即可实现改善蓝宝石衬底研磨碎裂、掉边和划伤等异常，成本较低，对整个减薄过程无影响，无需其他辅助设备、材料或部件，有效提高了铜盘使用寿命，降低了刻槽周期，从而降低产品成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 led 蓝宝石 衬底 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法，其特征在于，具体步骤包括：(1)将待减薄的蓝宝石衬底进行粗磨；(2)对步骤(1)粗磨完成后的蓝宝石衬底进行精磨；(3)采用无水乙醇将研磨铜盘表面擦拭干净；(4)旋转所述研磨铜盘，同时向所述研磨铜盘的表面喷洒无水乙醇与去离子水的混合液，所述无水乙醇纯度大于等于99％，所述无水乙醇与去离子水的混合液中，所述无水乙醇与去离子水的体积比为(0‑0.5)：1；(5)对蓝宝石衬底进一步精磨。
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