[发明专利]气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置

摘要

本发明公开了一种气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置，其中气浮平台用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)和出气层(20)，进气层的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿进气层的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，出气层上均匀地布设有沿高度方向贯穿出气层的出气孔(21)，出气孔通过凹槽与进气孔连通。使用气流支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，进而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。

主权项

1.一种气浮平台，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)，所述进气层(10)的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿所述进气层(10)的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，所述出气层(20)上均匀地布设有沿高度方向贯穿所述出气层(20)的出气孔(21)，所述分流层(30)上设有对应于所述出气孔(21)的分流孔(31)，所述分流孔(31)的孔径小于所述出气孔(21)，所述出气孔(21)通过所述分流孔(31)以及所述凹槽与所述进气孔(11)连通，所述进气层(10)和分流层(30)之间涂有固定胶，所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)。