[发明专利]一种基于柔性钼衬底的铜锌锡硫太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性钼衬底的铜锌锡硫的铝电极的制备方法。首先用电沉积法清洗柔性钼箔片，然后用溶胶‑凝胶法制备铜锌锡硫薄膜，最后依次使用化学水浴法、溅射法、蒸发法制备缓冲层、窗口层、电极。采用柔性钼作为电池的背电极，减低薄膜太阳能电池及其器件的制造成本；采用环境友好型的CZTS作为电池的吸收层，绿色环保，热膨胀系数与钼箔基底相匹配；且CZTS制备工艺简单，具有广泛的应用前景。

主权项

一种基于柔性钼衬底的铜锌锡硫太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）对钼箔进行清洁处理，即将钼箔在浓硫酸和甲醇的混合溶液中采用电沉积法进行清洗，然后用去离子水冲干净并用氮气吹干；（2）利用溶胶凝胶法在钼箔上制备金属预制层薄膜，其后进行硫化，得到铜锌锡硫薄膜；（3）采用化学水浴法在（2）所得铜锌锡硫薄膜表面沉积CdS薄膜，作为缓冲层，其中CdS薄膜厚度为50~70nm；（4）采用溅射法在（3）所得的缓冲层上沉积i‑ZnO薄膜；（5）采用溅射法在（4）所得的i‑ZnO薄膜上沉积AZO窗口层；（6）在（5）所得的AZO上覆盖掩膜版，采用真空热蒸发法沉积金属铝电极，即得所述铜锌锡硫太阳能电池。