[发明专利]一种SiC注入机传片系统及其传片方法

摘要

一种SiC注入机传片系统，包括工艺制程腔体、过渡片库以及设于工艺制程腔体和过渡片库之间的传输隔离阀，工艺制程腔体内设有定向台、载片台、冷却台以及真空机械手；传片方法包括步骤：将待加工晶片装载到过渡片库内，再将过渡片库与工艺制程腔体抽真空，打开传输隔离阀；真空机械手穿过传输隔离阀从过渡片库内取预放好的待加工晶片，送入定向台上定向，定向完成后由真空机械手将晶片传递至加热升温的载片台进行注入，注入完成的晶片由真空机械手卸载到冷却台上，晶片冷却完后再由真空机械手传递回过渡片库内；重复步骤二，逐个完成过渡片库内待加工晶片的加工，至所有的待加工晶片加工完毕。本发明具有自动化程度高、减少抽充气的次数、可提高生产效率等优点。

主权项

1.一种SiC注入机传片系统，其特征在于：包括工艺制程腔体（1）、过渡片库（2）以及设于工艺制程腔体（1）和过渡片库（2）之间的传输隔离阀（3），所述工艺制程腔体（1）内设有用于晶片定向的定向台（4）、用于晶片加热升温的载片台（5）、用于晶片冷却的冷却台（6）以及用于传递晶片的真空机械手（7），晶片在所述载片台（5）上被加热并完成注入，注片完成后，晶片在所述冷却台（6）上冷却，所述过渡片库（2）内装设有载片架（8），所述载片架（8）包括框架（81）、用于驱动框架（81）升降的第一驱动部件以及用于驱动框架（81）旋转的第二驱动部件，所述框架（81）上沿竖直方向设有多个置片槽（811）。