[发明专利]石英挠性加速度计气密性封装结构在审
申请号: | 201610491764.4 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN106066405A | 公开(公告)日: | 2016-11-02 |
发明(设计)人: | 王勇;杨峰;彭志高 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | G01P1/02 | 分类号: | G01P1/02 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 李海华 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英挠性加速度计气密性封装结构,包括敏感器件、外壳、伺服电路、密封罩和玻璃绝缘子管壳,所述敏感器件通过环氧胶安装于密封罩内,密封罩口部通过玻璃绝缘子管壳密封,密封罩、玻璃绝缘子管壳和敏感器件共同构成敏感表头;敏感器件以敏感表头的形式通过胶接工艺固定安装在外壳内,敏感器件输出引线通过玻璃绝缘子管壳上的管脚与伺服电路连接。本封装结构可使加速度计能够长期在低气压(或真空)和电磁辐射环境中可靠稳定的工作。本发明制作简单,工艺成熟,能有效提高加速度计在星用或其他太空应用等环境中的精度和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 石英 加速度计 气密性 封装 结构 | ||
【主权项】:
石英挠性加速度计气密性封装结构,包括敏感器件、外壳和伺服电路,敏感器件位于外壳内,伺服电路固定在外壳口部,敏感器件通过连接导线与伺服电路连接;其特征在于:还包括密封罩和玻璃绝缘子管壳,所述敏感器件通过环氧胶安装于密封罩内,密封罩口部通过玻璃绝缘子管壳密封,密封罩、玻璃绝缘子管壳和敏感器件共同构成敏感表头;敏感器件以敏感表头的形式通过胶接工艺固定安装在外壳内,敏感器件输出引线通过玻璃绝缘子管壳上的管脚与伺服电路连接。
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