[发明专利]一种高能束斑的标定方法有效
申请号: | 201610492848.X | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN106204535B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 郭超;林峰;马旭龙;葛文君;张磊;向虎 | 申请(专利权)人: | 天津清研智束科技有限公司;清华大学 |
主分类号: | G06T7/80 | 分类号: | G06T7/80 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;林波 |
地址: | 300300 天津市东丽*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种标定方法,公开了一种高能束斑的标定方法,包括:调节束斑至预设坐标处,使束斑处于预设状态,记录束斑处于预设状态时的圆形度;在保持束斑像散不变的情况下,改变至少一次束斑的聚焦值;生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系。本发明通过生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系,并根据该函数关系以及束斑处于预设状态时的圆形度,能够实现对束斑位置的标定校准,并可以标定聚焦对束斑位置的影响,对束斑进行标定时不会受图像畸变的影响,无需求解成像装置相对束斑所在平面之间的复杂的位姿关系。 | ||
搜索关键词: | 一种 高能 标定 方法 | ||
【主权项】:
1.一种高能束斑的标定方法,其特征在于,包括以下步骤:调节束斑至预设坐标处,使束斑处于预设状态,记录所述束斑处于预设状态时的圆形度;在保持所述束斑像散不变的情况下,改变至少一次所述束斑的聚焦值;生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系;所述使束斑处于预设状态包括:调整束斑的聚焦值,使所述束斑尺寸达到预设最小值;调整束斑的像散,使所述束斑圆形度处于预设圆形度;调整束斑的位置参数,使所述束斑的中心与预设坐标的中心之间的距离小于预设值;所述生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系包括:记录处于预设状态时的束斑的聚焦值以及位置参数;记录聚焦值改变后的束斑的聚焦值,改变位置参数直至束斑移动至预设坐标处,记录该新的位置参数;根据处于预设状态时的束斑的聚焦值以及位置参数和聚焦值改变后的束斑的聚焦值以及新的位置参数,生成束斑位置参数与聚焦值之间的函数关系。
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