[发明专利]一种In-Cell触控阵列基板及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201610493670.0 申请日: 2016-06-29
公开(公告)号: CN106095189B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 王利忠;周刘飞 申请(专利权)人: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041;H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210033 江苏省南京市仙林大道科*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种In‑Cell触控阵列基板,包括:一基板,以及在所述基板上依次形成的栅极电极层,栅极绝缘层,半导体层,源漏电极层,第一钝化层,有机绝缘层,共通电极层,第二钝化层,检测线,第三钝化层和像素电极层;其中,在位于所述源漏电极层的漏电极上方的所述第一钝化层和第二钝化层上形成有第一接触孔,所述的源漏电极层的漏电极通过该第一接触孔与所述的像素电极层相连接;所述第二钝化层接触孔的孔径大于所述第一钝化层接触孔的孔径。通过对第一钝化层和第二钝化层的接触孔进行同时蚀刻,使第一接触孔的边缘形成一个缓坡,进而使得像素电极沿第二钝化层形成的缓坡与漏极电极层的漏电极顺利连接,确保像素电极不断裂。
搜索关键词: 一种 in cell 阵列 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种In‑Cell触控阵列基板,包括:一基板,以及在所述基板上依次形成的栅极电极层,栅极绝缘层,半导体层,源漏电极层,第一钝化层,有机绝缘层,共通电极层,第二钝化层,检测线,第三钝化层和像素电极层;其中,在位于所述源漏电极层的漏电极上方的所述第一钝化层和第二钝化层上形成有第一接触孔,所述的源漏电极层的漏电极通过该第一接触孔与所述的像素电极层相连接;其中,所述的第一接触孔包括同心的第一钝化层接触孔和第二钝化层接触孔;所述第二钝化层接触孔的孔径大于所述第一钝化层接触孔的孔径,所述第一接触孔内第二钝化层覆盖有机绝缘层和第一钝化层,形成台阶状第一接触孔。
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