[发明专利]多功能卷绕镀膜设备及方法有效
| 申请号： | 201610493694.6 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105986235B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/30 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 谢静娜;裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多功能卷绕镀膜设备及方法，其设备中，真空室的离子处理区上方设置离子处理机构，镀膜区内设置磁控溅射镀膜机构和条形电子发射装置，镀膜区下方设有e型电子枪镀膜机构，镀膜区一侧设有直式电子枪镀膜机构，坩埚设于e型电子枪镀膜机构下方，卷绕机构设于真空室内。其方法是先在真空室中安装e型电子枪镀膜机构、磁控溅射镀膜机构或直式电子枪镀膜机构中的一种，柔性基材通过卷绕机构在真空室内进行输送，通过离子处理机构对柔性基材进行表面处理，再通过已安装好的镀膜机构对柔性基材进行表面镀膜。本多功能卷绕镀膜设备集成度高，设备成本低，占用空间也小，使用灵活而方便。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 卷绕 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.多功能卷绕镀膜设备，其特征在于，包括真空室、卷绕机构、离子处理机构、e型电子枪镀膜机构、磁控溅射镀膜机构、直式电子枪镀膜机构和条形电子发射装置，真空室内设有离子处理区和镀膜区，离子处理区上方设置离子处理机构，镀膜区内设置磁控溅射镀膜机构和条形电子发射装置，镀膜区下方设有e型电子枪镀膜机构，镀膜区一侧设有直式电子枪镀膜机构，与直式电子枪镀膜机构相配合的坩埚设于e型电子枪镀膜机构下方，卷绕机构设于真空室内，柔性基材设于卷绕机构上。
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