[发明专利]光学制造系统

摘要

本发明公开了一种光学制造系统。光学制造系统包括：精密气体控制装置、气体管路以及环境控制装置，其中：气体管路的两端分别连接精密气体控制装置和环境控制装置；精密气体控制装置包括气体回路，气体回路还包括：除湿装置，用于对输入的气体进行除湿；过滤器，用于对经过除湿前和/或除湿后的气体进行净化过滤，并进一步将经过除湿和净化过滤的气体通过气体管路输送到环境控制装置；环境控制装置包括：高效过滤器，用于对输送的气体进一步净化过滤后输送到所需的环境中。通过上述方式，本发明避免了精密气体控制装置直接对整个大环境空间进行控制，从而导致浪费资源，环境控制装置能够仅对需要进行控制的局部环境的气体湿度和洁净度进行控制。

主权项

1.一种光学制造系统，其特征在于，所述光学制造系统包括：精密气体控制装置、气体管路以及环境控制装置，其中：所述气体管路的两端分别连接所述精密气体控制装置和环境控制装置；所述精密气体控制装置包括气体回路，所述气体回路包括：除湿装置，用于吸附输入的气体的至少部分水蒸气，以对输入的气体进行除湿；过滤器，用于对经过除湿前和/或除湿后的气体进行净化过滤，并进一步将经过除湿和净化过滤的气体通过所述气体管路输送到所述环境控制装置；所述环境控制装置包括：高效过滤器，用于对所述精密气体控制装置输送的气体进一步净化过滤后输送到所需的环境中；所述过滤 器包括初效过滤器和中效过滤器，其中：所述初效过滤器设置在所述除湿装置的前端，用于对输入的气体进行初步净化过滤，并将经过初步过滤的气体输送到所述除湿装置；所述中效过滤器设置在所述除湿装置的后端，用于对经过除湿装置除湿的气体进行二次净化过滤，以通过所述气体管路输送到所述环境控制装置中；所述气体回路还包括换热器，用于对输入的气体进行温度控制；所述气体回路还包括均风装置、离心风机以及电加热器，所述换热器包括初级换热器和次级换热器，其中：所述均风装置的一侧与外部环境空气直接接触，另一侧与所述初效过滤器相连接，所述均风装置用于将外部空气经过匀化后送入所述初效过滤器内部；所述离心风机的一侧与所述初效过滤器连接，另一侧与所述除湿装置相连接，所述离心风机用于向经过初步净化过滤的气体提供吸力；所述除湿装置的一侧与所述离心风机相连接，另一侧与所述初级换热器相连接；所述初级换热器的一侧与所述除湿装置连接，另一侧与所述电加热器连接，所述初级换热器用于向经过除湿后的气体提供初级温度稳定的温度场，以进行初级气体温度控制；所述电加热器的一侧与所述初级换热器相连接，另一侧与所述次级换热器相连接，所述电加热器用于对经过初级气体温度控制的气体进行加热升温控制；所述次级换热器的一侧与电加热器相连接，另一侧与所述中效过滤器相连接，所述次级换热器用于向经过加热升温控制的气体提供次级温度稳定的温度场，以进行精密气体温度控制；所述中效过滤器的一侧与所述次级换热器连接，另一侧与所述气体管路连接。