[发明专利]一种可定制多维度高密度柔性脑部电极及其制作方法

摘要

本发明提供一种可定制多维度高密度柔性脑部电极及其制作方法，所述制作方法至少包括：制备触点生物电极；制备微针生物电极；将所述微针生物电极与所述触点生物电极结合，形成多维度复合式脑部电极。所述触点生物电极中以非降解型柔性薄膜为电极支撑层和隔离层，制作获得高密度、高贴服性、可定制的大脑皮层触点生物电极；微针生物电极中以可降解型柔性薄膜为微针和基底材料，将二者集成到一起，组合成多维度复合式生物电极。本发明提供的脑部电极，其脑电信号采样空间分辨率高、采样结果精准、对生物体损害小，可给脑功能探测和研究带来重大突破。

主权项

1.一种可定制多维度高密度柔性脑部电极的制作方法，其特征在于，所述制作方法至少包括：制备触点生物电极；制备微针生物电极；将所述微针生物电极与所述触点生物电极结合，形成多维度复合式脑部电极；所述制备触点生物电极的过程为：1‑1)提供一基底，在所述基底表面生长牺牲层；1‑2)在所述牺牲层表面形成电极支撑层；1‑3)在所述电极支撑层表面生长电极材料层，并图形化所述电极材料层形成电极结构，所述电极结构包括电极和与所述电极电连的引线结构；1‑4)在所述步骤1‑3)的结构表面旋涂电极隔离层，并图形化所述电极隔离层暴露出所述电极；1‑5)重复所述步骤1‑3)和1‑4)，形成多层电极结构，各层引线结构由电极隔离层隔离；1‑6)网格化所述电极支撑层和电极隔离层，再释放所述牺牲层，获得触点生物电极；所述制备微针生物电极的过程为：2‑1)提供第一衬底，在所述第一衬底表面生长介质层，刻蚀所述介质层和衬底，形成微针孔；2‑2)在所述微针孔和介质层表面浇注可降解型柔性材料，并固化，形成具有微针的柔性薄膜基底；2‑3)将所述具有微针的柔性薄膜基底与所述介质层分离，并将柔性薄膜基底粘附至第二衬底上；2‑4)在所述柔性薄膜基底表面生长金属材料层，图形化所述金属材料层，形成微针电极和与所述微针电极电连的微针引线结构；2‑5)在所述步骤2‑4)的结构表面旋涂绝缘层，并图形化暴露出所述微针电极；2‑6)去除所述第二衬底，获得微针生物电极；所述微针和柔性薄膜基底的材料为蚕丝蛋白。