[发明专利]微镜单元及制备方法、微镜阵列和光交叉连接模块有效
| 申请号： | 201610495464.3 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107539945B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 姚丹阳;蒋臣迪;张鹏 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 冯艳莲 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及通信技术领域，特别涉及一种微镜单元及制备方法、微镜阵列和光交叉连接模块。该微镜阵列包括呈阵列分布的多个微镜单元；光交叉连接模块包括微镜阵列。该微镜单元包括镜片和驱动装置，所述镜片朝向所述驱动装置的一侧设有支撑柱；所述驱动装置包括支撑框、与所述支撑柱固定连接的转动块、设置于所述转动块的周边的多个压电驱动臂；每一个所述压电驱动臂的一端固定于所述支撑框，另一端与所述转动块之间通过弹性件连接，且所述压电驱动臂包括上电极、下电极、以及夹设在所述上电极和下电极之间的压电材料。该微镜单元结构简单、便于制造、切换速度快且镜片占空比高。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 制备 方法 阵列 交叉 连接 模块 | ||
【主权项】：
一种微镜单元，包括镜片和驱动装置，其特征在于，所述镜片朝向所述驱动装置的一侧设有支撑柱；所述驱动装置包括支撑框、与所述支撑柱固定连接的转动块、设置于所述转动块的周边的多个压电驱动臂；每一个所述压电驱动臂的一端固定于所述支撑框，另一端与所述转动块之间通过弹性件连接，且所述压电驱动臂包括上电极、下电极、以及夹设在所述上电极和下电极之间的压电材料。
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