[发明专利]一种高精度三轴运动平台

摘要

本发明提供了一种高精度三轴运动平台，包括由下至上依次设置的基板、X轴托板和Y轴托板，所述基板与X轴托板之间通过基板直线滚珠导轨连接，X轴托板与Y轴托板之间通过X直线滚珠导轨连接，所述X轴托板一侧设有第一直线电机，基板直线滚珠导轨包括第一滚珠丝杠，第一直线电机连接到第一滚珠丝杠，所述Y轴托板一侧设有第二直线电机，X直线滚珠导轨包括第二滚珠丝杠，第二直线电机连接到第二滚珠丝杠，所述基板中部设有竖直的第三滚珠丝杠，第三滚珠丝杠连接Z轴导轨，Z轴导轨连接Z轴升降杆，Z轴升降杆固定连接到载物台底部，第三滚珠丝杠连接到伺服电机。

主权项

一种高精度三轴运动平台，其特征在于，包括由下至上依次设置的基板(1)、X轴托板(2)和Y轴托板(5)，所述基板(1)与X轴托板(2)之间通过基板直线滚珠导轨(8)连接，X轴托板与Y轴托板之间通过X直线滚珠导轨(9)连接，所述X轴托板(2)一侧设有第一直线电机(6)，基板直线滚珠导轨(8)包括第一滚珠丝杠(8a)，第一直线电机(6)连接到第一滚珠丝杠(8a)，所述Y轴托板(5)一侧设有第二直线电机(3)，X直线滚珠导轨(9)包括第二滚珠丝杠(9a)，第二直线电机(3)连接到第二滚珠丝杠(9a)，所述基板(1)中部设有竖直的第三滚珠丝杠(11)，第三滚珠丝杠(11)连接Z轴导轨(12)，Z轴导轨(12)连接Z轴升降杆(10)，Z轴升降杆(10)固定连接到载物台(4)底部，第三滚珠丝杠(11)连接到伺服电机(7)。