[发明专利]一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi形端盖有效
| 申请号： | 201610495940.1 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN105954975B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王强;吴庭溪;陈云;邓洁;朱海峰 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐激波<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi形端盖，WiFi形端盖包括圆形端面和下腔体，圆形端面和下腔体之间固定连接；圆形端面的中心设有中心圆，中心圆的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔，同一圈上的小圆孔直径大小均相同，最外圈的小圆孔向外扩散有两列相互对称的圆弧槽，每列圆弧槽成WiFi形排布；下腔体的中心设有抽气孔，抽气孔外围设有若干圈挡胶板，每圈挡胶板上设有两个位置相对的挡胶板。本发明通过旋转托盘端盖，利用挡胶板遮住圆弧槽的范围的不同，可实现调节基片所受真空吸附力的大小，因此可适应不同厚度基片的旋涂要求，在满足其旋涂性能要求的同时，减小基片形变量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 专用 匀胶机 托盘 真空 吸片口上 wifi 型端盖 | ||
【主权项】：
1.一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi形端盖，所述的WiFi形端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，其特征在于：所述WiFi形端盖包括圆形端面(1)和与所述圆形端面(1)相匹配的下腔体(2)；/n所述圆形端面(1)的中心设有中心圆(11)，所述中心圆(11)的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔(12)，同一圈上的小圆孔(12)直径大小均相同，最外圈的小圆孔(12)向外扩散有两列相互对称的圆弧槽(13)，所述每列圆弧槽(13)成WiFi形排布；/n所述下腔体(2)的中心设有抽气孔(21)，所述抽气孔(21)呈圆台状，所述抽气孔(21)外围设有若干圈挡胶板(22)，每圈挡胶板(22)上设有两个位置相对的挡胶板(22)，相邻两圈的挡胶板(22)互相之间均呈90°交错排布；/n所述圆形端面(1)和下腔体(2)之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板(22)对应在圆弧槽(13)正下方，挡胶板(22)的宽度大于圆弧槽(13)1mm，通过旋转圆形端面(1)调节腔体内的通气量的大小。/n
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