[发明专利]一种热释电红外探测器在审
申请号: | 201610496476.8 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN105953928A | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 梁志清;刘子骥;伍浏权;蒋亚东 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 葛启函 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种热释电红外探测器,属于热释电探测器电子技术领域。本发明热释电红外探测器中探测单元包括:黑金层(1)、热释电晶体层(2)、底电极层(3);所述热释电晶体层(2)包括顶面和与顶面相对的底面,所述黑金层(1)具有多孔结构,并通过电阻蒸发法沉积在热释电晶体层(2)的顶面,所述底电极层(3)沉积在热释电晶体层(3)的底面。本发明的热释电探测器采用黑金材料,因其在可见光波段的和红外波段范围内对于辐射有很高的吸收率以及具有较小的热容,故使得本发明探测器可以较多的吸收红外辐射及太赫兹辐射,具有较小的热损失,辐射能量能够较大程度的被热释电晶体利用,本发明可实现器件响应速度和敏感性等性能的提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 热释电 红外探测器 | ||
【主权项】:
一种热释电红外探测器,其特征在于,其热释电探测单元由顶层至底层包括:黑金层(1)、热释电晶体层(2)、底电极层(3);所述热释电晶体层(2)包括顶面和与顶面相对的底面,所述黑金层(1)具有多孔结构,并通过电阻蒸发法沉积在热释电晶体层(2)的顶面,所述底电极层(3)沉积在热释电晶体层(3)的底面。
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