[发明专利]多传感器测量机坐标统一和精度检定的标准器及使用方法

摘要

多传感器测量机坐标统一和精度检定的标准器及使用方法，标准器包括有底座和固定设置在底座上的2个以上结构相同高度不同的标定器。方法是采用标准器中任意一个标定器对复合式坐标测量机的多传感器进行坐标统一标定；以及是对基于图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器的复合式坐标测量机测量精度的检测，本发明可实现接触式传感器、图像传感器、非接触位移传感器的两两坐标统一或三者坐标统一。以及测量机全局测量空间内测量精度检定，操作简单方便，标定效率高。图像传感器对锥台顶圆一次成像，接触式传感器二维测圆，减少了多维运动带入的影响。由2个以上所述的标定器组成的标准器，适用于高精度复合测量机的全局测量空间或局部测量空间的精度检定。

主权项

1.一种多传感器测量机坐标统一和精度检定的标准器，是用于集图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器为一体的复合式坐标测量机的标定，其特征在于，包括有底座（1）和固定设置在底座（1）上的2个以上结构相同高度不同的标定器（2），所述的标定器（2）包括圆柱体（21），所述圆柱体（21）的上端面固定设置有圆锥台（22），所述圆锥台（22）与所述圆柱体（21）同轴设置，所述圆锥台（22）上端面的直径小于复合式坐标测量机的图像传感器测量视场范围，所述圆锥台（22）的母线与圆柱体（21）上顶面夹角的大小在复合式坐标测量机上的非接触位移传感器测量的角度范围内，所述圆锥台（22）的上端面与下端面垂直距离在非接触位移传感器的测量范围内。