[发明专利]一种离子束抛光系统的运输装置及其运输方法

摘要

本发明涉及一种离子束抛光系统的运输装置。运输装置包括导轨组件、用于安装工件的运输车、直线运动模组、控制单元和连接机构，导轨组件包括第一直线导轨和第二直线导轨，运输车设置在导轨组件上。当滑块滑动至运输车附近时，控制单元能够控制连接机构将滑块和运输车连接锁定；当滑块与运输车连接锁定后，控制单元能够控制滑块滑动并带动运输车在第一直线导轨和第二直线导轨上运动。采用运输车与第二直线导轨相互配合设置在真空辅助室内，占用空间小，运输车与第二直线导轨结构简单，操作难度低，安装配合容易；采用直线运动模组作为运输车的牵引装置，直线运动模组不占用真空辅助室的空间，同时直线运动精度高，使得运输车的牵引到位精度高。

主权项

1.一种离子束抛光系统的运输装置，用于双真空离子束抛光系统中工件的运输抛光，所述双真空离子束抛光系统包括真空工作室（100）和真空辅助室（101），所述真空工作室（100）和真空辅助室（101）连通，所述真空工作室（100）和真空辅助室（101）之间设置有能够控制二者通断的插板阀（102），其特征在于：所述运输装置包括导轨组件、用于安装工件的运输车（1）、直线运动模组（2）以及控制单元，所述导轨组件包括设置在真空工作室（100）内的第一直线导轨（3）和设置在真空辅助室（101）内的第二直线导轨（4），所述运输车（1）设置在导轨组件上且能够在导轨组件上直线运动，所述直线运动模组（2）设置在真空工作室（100）内，所述直线运动模组（2）包括直线导向件（21）、能够在直线导向件（21）上直线滑动的滑块（22）以及驱动滑块（22）滑动的驱动机构，所述运输装置还包括能够连接运输车（1）和滑块（22）的连接机构，所述控制单元分别与连接机构和驱动机构相连，当滑块（22）滑动至运输车（1）附近时，所述控制单元能够控制连接机构将滑块（22）和运输车（1）连接锁定；当滑块（22）与运输车（1）连接锁定后，所述控制单元能够控制滑块（22）滑动并带动运输车（1）在第一直线导轨（3）和第二直线导轨（4）上运动。