[发明专利]一种局域表面等离子增强的PtSi红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种局域表面等离子增强的PtSi红外探测器，自上而下分别为二氧化硅介质、PtSi金属膜、p‑Si衬底以及p‑Si衬底的底部覆盖的二氧化硅反射膜；二氧化硅介质中具有金属氧化物微纳米颗粒阵列；金属氧化物微纳米颗粒阵列为采用类金属材料铝掺杂氧化锌制成的金属球有序阵列。本发明解决了传统的探测器因吸收效率在中波红外波段(3μm‑5μm)低导致量子效率不高的问题，改善了探测器的热灵敏度。

主权项

一种局域表面等离子增强的PtSi红外探测器，其特征在于，自上而下分别为二氧化硅介质、PtSi金属膜、p‑Si衬底以及p‑Si衬底的底部覆盖的二氧化硅反射膜；所述二氧化硅介质中具有金属氧化物微纳米颗粒阵列；所述金属氧化物微纳米颗粒阵列为采用类金属材料铝掺杂氧化锌制成的金属球有序阵列。