[发明专利]硅片批次管理方法及系统在审
| 申请号： | 201610498407.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106056464A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 马兰涛;陈毅俊;朱骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06Q50/04 | 分类号： | G06Q50/04;H01L21/673;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的硅片批次管理方法及系统，应用于在硅片的处理流程中，包括：设定聚集规则和流程聚集等级；流程聚集等级包括不同的聚集类别；选择符合流程聚集等级和/或聚集规则的硅片批次，然后转移硅片。本发明实现了系统的自动批次聚集或解散的操作和控制，避免出现交叉污染的情况，以及实现对特殊产品的重点控制。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 批次 管理 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片批次管理方法，应用于在硅片的处理流程中，其特征在于，包括：步骤01：设定聚集规则和流程聚集等级；流程聚集等级包括不同的聚集类别；步骤02：选择符合流程聚集等级和/或聚集规则的硅片批次，然后转移硅片。
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