[发明专利]激光加工装置及激光加工方法有效
申请号: | 201610498855.0 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN106493476B | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 斋藤大;增田充 | 申请(专利权)人: | 维亚机械株式会社 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/402;B23K26/0622;B23K103/16 |
代理公司: | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 田喜庆;吴孟秋 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于,提供对基板进行加工时缩短加工时间的激光加工装置及激光加工方法。一种激光加工装置,具有声光调制器,所述声光调制器使从激光振荡器输出的激光脉冲沿加工方向和非加工方向分支,所述激光加工装置的特征在于,包括:声光调制器控制部,输出控制所述声光调制器的分支动作的分支动作控制信号,所述声光调制器控制部在所述激光脉冲开始衰减前的第一特定期间和该激光脉冲开始衰减后的第二特定期间输出使所述激光脉冲沿所述加工方向分支的分支动作控制信号。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,具有激光振荡器、激光振荡控制部和声光调制器,所述激光振荡器使激光脉冲振荡,所述激光振荡控制部指示所述激光振荡器使激光脉冲开始振荡和使激光脉冲开始衰减,所述声光调制器使从所述激光振荡器输出的所述激光脉冲沿加工方向和非加工方向分支,所述激光加工装置的特征在于,包括:/n声光调制器控制部,输出控制所述声光调制器的分支动作的分支动作控制信号,/n所述声光调制器控制部在第一期间的固定期间以及第二期间的固定期间,输出使所述激光脉冲沿所述加工方向分支的分支动作控制信号,所述第一期间为从所述激光振荡器基于来自所述激光振荡控制部的所述开始振荡的指令开始使激光脉冲振荡至所述激光振荡器基于所述开始衰减的指令开始使激光脉冲衰减的期间,所述第二期间为从所述激光振荡器基于来自所述激光振荡控制部的所述开始衰减的指令开始使激光脉冲衰减后的期间。/n
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