[发明专利]基于影像测量的Z轴垂直度误差测量方法及装置在审
| 申请号： | 201610503232.8 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN105987674A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 付鲁华;王祎雯;王仲;赵炎;文信 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于影像测量的Z轴垂直度误差测量方法及装置，包括：利用激光在接收靶上的光斑高度位置变化，获得一束与工作台表面平行的光线；将已调整的激光光线入射到45°转向镜上，获得一束与工作台表面垂直的光线；将45°转向镜出射光线照射在位于影像测量镜头物距焦面处的掩膜版上并形成光斑，影像测量镜头是固定在待测Z轴上；测量并记录影像测量镜头获得的掩膜版上的光斑位置；当影像测头随待测Z轴移动时，掩膜版上的光斑位置一直保持不变，待测Z轴相对工作台处于垂直状态；当掩膜版上的光斑位置出现变动时，待测Z轴相对工作台存在垂直度误差，得到待测Z轴的垂直度误差。本发明能够实现便捷、精准、快速地完成Z轴垂直度误差检定。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 影像 测量 垂直 误差 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于影像测量的Z轴垂直度误差测量方法，其特征在于，包括如下步骤：1)利用激光在接收靶上的光斑高度位置变化，获得一束与工作台表面平行的光线；2)将已调整的激光光线入射到45°转向镜上，获得一束与工作台表面垂直的光线；3)将45°转向镜出射光线照射在位于影像测量镜头物距焦面处的掩膜版上并形成光斑，所述的影像测量镜头是固定在待测Z轴上；4)测量并记录所述的影像测量镜头获得的掩膜版上的光斑位置；5)当影像测头随待测Z轴移动时，所述的影像测量镜头获得的掩膜版上的光斑位置一直保持不变，说明待测Z轴相对工作台处于垂直状态；当所述的影像测量镜头获得的掩膜版上的光斑位置出现变动时，说明待测Z轴相对工作台存在垂直度误差，根据光斑位置变动量，得到待测Z轴的垂直度误差。
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