[发明专利]一种舰艇监测磁场传感器

摘要

本发明涉及一种基于超声波传感和磁探测技术的舰艇监测磁场传感器，包括硅衬底、金属电极、绝缘层、压电薄膜和充满低浓度磁性液体的电容空腔，其特征在于舰艇监测磁场传感器可以发射或接收超声波，空腔中磁性液体的粘度对外磁场异常敏感，在无磁异常源存在的情况下，该传感器以水声换能器的方式进行超声探测，当磁异常源出现时，该传感器可同时进行超声探测和磁探测，且传感器发射的超声波频率可通过施加偏置磁场进行调控。这种舰艇监测磁场传感器采用先进微纳加工技术制作，体积小，功耗低，频带宽，可以做成一维线阵列(1D)和二维面阵列(2D)，与前端电子电路兼容，有利于器件的批量化生产，适用于海岸防御、反潜、舰艇探测、海洋地貌测量等方面。

主权项

1.一种舰艇监测磁场传感器，采用电容式超声换能器(cMUT)作为磁场传感的基本结构，自下而上分别为硅衬底、底部金属电极、绝缘层、充满低浓度磁性液体的电容空腔、压电薄膜和顶部金属电极，其特征在于：舰艇监测磁场传感器能发射或接收超声波，低浓度磁性液体对外磁场敏感，磁场变化引起舰艇监测磁场传感器工作频率发生变化，在无磁异常源存在情况下，舰艇监测磁场传感器按照cMUT的方式进行超声探测，在磁异常源存在情况下，舰艇监测磁场传感器同时进行超声探测和磁探测，实现对水中大型目标的双重探测。