[发明专利]一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备及其方法在审
| 申请号： | 201610504225.X | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106011751A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/56;H05K3/42 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备，包括依次连接的进片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、出片室；进片室的入口处设有真空锁，进片室和前过渡室之间设有真空锁，前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁，后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁，后过渡室和出片室之间设有真空锁，出片室的出口处设有真空锁；连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室；镀膜室内设有镀膜源。所述进片室的入口端设有进料架，出片室的出口端设有出料架。本发明还涉及一种线路板开孔金属化的连续镀膜方法，本发明能采用环保的方式对线路板的开孔进行金属化的处理，属于线路板开孔的金属化处理的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线路板 金属化 连续 镀膜 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种线路板开孔金属化的连续镀膜设备，其特征在于：包括依次连接的进片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、出片室；进片室的入口处设有真空锁，进片室和前过渡室之间设有真空锁，前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁，后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁，后过渡室和出片室之间设有真空锁，出片室的出口处设有真空锁；连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室；镀膜室内设有镀膜源。
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