[发明专利]一种基于氧化钛纳米带的异质结型光电探测器及制备方法

摘要

一种基于氧化钛纳米带的异质结型光电探测器及制备方法，本发明公开了一种异质结型光电探测器及其制备方法，是由P型氧化钛纳米带与N型氮掺杂石墨烯构筑成的异质结光电探测器。本发明光电探测器对可见光非常敏感，响应度及增益较高并且响应速度较快，为纳米材料在光电器件中的应用和集成提供了良好的基础。

主权项

一种基于氧化钛纳米带的异质结型光电探测器，其特征在于，具有如下结构：在硅基底的表面覆有二氧化硅层，在二氧化硅层的表面分散有平铺的氧化钛纳米带，在所述氧化钛纳米带的两端分别设置有欧姆电极作为输出一极，所述欧姆电极与所述氧化钛纳米带呈欧姆接触；在所述氧化钛纳米带上交叠覆有氮掺杂石墨烯，所述氮掺杂石墨烯位于两个欧姆电极之间且与欧姆电极隔离；在所述氮掺杂石墨烯上设置有欧姆电极作为另一输出极，所述欧姆电极与所述氮掺杂石墨烯呈欧姆接触且与氧化钛纳米带和欧姆电极隔离；所述氧化钛纳米带为P型氧化钛纳米带；所述氮掺杂石墨烯为N型氮掺杂石墨烯；所述欧姆电极和欧姆电极为金电极。