[发明专利]一种生化测试片的制备工艺在审
| 申请号： | 201610505160.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106124596A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈泓均 | 申请（专利权）人： | 英太格电子科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 刘宪池 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生化测试片的制备工艺，全程利用黄光蚀刻制程制备出生化测试片的金属电极导线层、金属氧化物反应层和中隔层；本发明所述生化测试片的制备工艺，可以在低成本的情况下达成高精度的要求，并且具有阻止测试液扩散的中隔层，可以更精准的控制反应液体量，导线材料使用低价的金属电极，来降低黄金电极的成本，反应区材料使用稳定的金属氧化物电极，可以提升电极的长期稳定性，不会随时间拉长而产生变异，造成量测不准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生化 测试 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种生化测试片的制备工艺，其特征在于，提供一生化测试片原材，所述生化测试片原材包括：一基材；一金属氧化物反应层，其附着于所述基材的表面；一金属电极层，其附着于所述金属氧化物反应层上；所述制备工艺包括如下步骤：步骤一，利用黄光蚀刻制程工艺在所述生化测试片原材表面贴合干膜，经过曝光、显影、蚀刻和剥膜制程，制备出所述金属电极层的图案；步骤二，利用黄光蚀刻制程工艺在所述金属电极层上贴合干膜，经过曝光、显影、蚀刻和剥膜工艺，制备出所述金属氧化物反应层的图案；步骤三，在所述金属电极层和金属氧化物反应层上贴合干膜，经过曝光、显影和剥膜工艺，制备出所述中隔层的图案，所述中隔层由曝光的干膜构成，用于防止测试液扩散，可以更精准的控制反应液体量。
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