[发明专利]保持单元和贴合方法

摘要

本发明的课题在于更可靠地保持面板并防止气泡的混入，是一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，包含具备多个供气排气路径的支承部件和被所述支承部件支承并与面板接触的接触部，所述接触部包含多个开口部和能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径和面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，所述中间区域能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压从所述支承部件膨出。

主权项

1.一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，所述保持单元的特征在于，包含：支承部件，所述支承部件具备多个供气排气路径；以及接触部，所述接触部被所述支承部件支承，并与面板接触，所述接触部包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及第二供气排气路径，所述接触部具备吸附面板的第一片材部件、以及配置在所述第一片材部件和所述支承部件之间的第二片材部件，所述第一片材部件具有所述多个开口部、以及使所述多个开口部与所述第一供气排气路径连通的连通路，所述第二片材部件具有配置于所述中间区域并能够向面板侧膨出的膨出部，所述第二供气排气路径面向所述膨出部开口，所述中间区域能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述膨出部向面板侧膨出，从而从所述支承部件膨出。