[发明专利]一种液相生长碳化硅的籽晶轴及方法有效
| 申请号： | 201610505971.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106012021B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;王晓;宋建;李斌 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/32 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 吴绍群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液相生长碳化硅的籽晶轴及方法，属于碳化硅生长技术领域。本发明所述的籽晶轴包括石墨轴，在石墨轴的下端连接有石墨轴帽；所述的石墨轴帽为中空结构。本发明解决了传统生长方法高速生长带来的多型、包裹体和应力等问题，可方便的调控温度梯度，使晶体既保证生长速度的同时，又能保证晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相生 碳化硅 籽晶 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液相生长碳化硅的籽晶轴，包括石墨轴(1)，其特征在于：在石墨轴(1)的下端连接有石墨轴帽(2)；所述的石墨轴帽(2)为中空结构；所述的石墨轴帽(2)的高度为1‑10cm。
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