[发明专利]一种光刻胶剥离液在审
| 申请号： | 201610506315.2 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107544215A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 鄢艳华;康威;尹静雅;陈昊 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶剥离液，其特征在于，包括有机胺化合物、有机溶剂和添加剂；所述添加剂选自8‑羟基喹啉、油酸三乙醇胺脂、天门冬氨酸三乙醇胺盐或烷醇酰胺中的至少一种；所述光刻胶剥离液中，所述有机胺化合物的重量百分比含量为15‑30％，所述有机溶剂的重量百分比含量为70‑85％，所述添加剂的重量百分比含量为0.1‑0.5％；且所述光刻胶剥离液中，各组分的总含量为100％。本发明的光刻胶剥离液能同时实现ITO/Ag/ITO及Mo/Al/Mo结构层中光刻胶的快速剥离且低温性能好，有效地解决金属配线腐蚀、环境污染、操作人员安全性、毒性和剥离效果差等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 | ||
【主权项】：
一种光刻胶剥离液，其特征在于，包括有机胺化合物、有机溶剂和添加剂；所述添加剂选自8‑羟基喹啉、油酸三乙醇胺脂、天门冬氨酸三乙醇胺盐或烷醇酰胺中的至少一种；所述光刻胶剥离液中，所述有机胺化合物的重量百分比含量为15‑30％，所述有机溶剂的重量百分比含量为70‑85％，所述添加剂的重量百分比含量为0.1‑0.5％；且所述光刻胶剥离液中，各组分的总含量为100％。
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