[发明专利]钛合金表面超硬减摩耐磨复合膜层的覆层方法及钛合金材料在审
| 申请号： | 201610506690.7 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106191794A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王飞;张全成;周隐玉;郑博;史忠兵 | 申请（专利权）人： | 上海材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 200437*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛合金表面超硬减摩耐磨复合膜层的覆层方法及其钛合金材料，采用磁控溅射法先后在钛合金表面依次沉积钛薄膜、碳氮化钛薄膜和类金刚石薄膜，建立起Ti/TiCN/DLC复合膜层，其中，钛薄膜作为金属粘结层，碳氮化钛薄膜作为承载层，类金刚石薄膜作为表面减摩耐磨层。与现有技术相比，本发明有效弥补了单层类金刚石薄膜结合力差，而碳氮化钛涂层减摩效果不明显的不足。该方法工艺简单，可广泛用于钛合金表面减摩耐磨增强。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 表面 超硬减摩 耐磨 复合 覆层 方法 材料 | ||
【主权项】：
一种钛合金表面超硬减摩耐磨复合膜层的覆层方法，其特征在于，采用磁控溅射法先后在钛合金表面依次沉积钛薄膜、碳氮化钛薄膜和类金刚石薄膜，建立起Ti/TiCN/DLC复合膜层，其中，钛薄膜作为金属粘结层，碳氮化钛薄膜作为承载层，类金刚石薄膜作为表面减摩耐磨层。
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