[发明专利]边缘曝光装置和方法有效
| 申请号： | 201610506802.9 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107561864B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杨金国;唐文力;王刚;郎新科;郑教增 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种边缘曝光装置和方法，该装置包括：整机框架、安装在所述整机框架上的用于对硅片进行边缘曝光的边缘曝光单元；用于对硅片定心、定向并配合所述边缘曝光单元完成边缘曝光操作的预对准单元；用于存储、检测硅片的片库单元；用于硅片搬运的机械手；以及用于边缘曝光装置的各工作单元的主控单元；其中所述边缘曝光单元与所述预对准单元共用工作台。本发明配备的预对准单元、边缘曝光单元共用工作台，结构紧凑；本发明的预对准单元、边缘曝光单元分别设置有两组，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种边缘曝光装置，包括：整机框架、安装在所述整机框架上的用于对硅片进行边缘曝光的边缘曝光单元；用于对硅片定心、定向并配合所述边缘曝光单元完成边缘曝光操作的预对准单元；用于存储、检测硅片的片库单元；用于硅片搬运的机械手；以及用于边缘曝光装置的各工作单元的主控单元；其中，所述边缘曝光单元与所述预对准单元共用工作台；所述边缘曝光单元包括：沿光传播方向设置的光源、光纤、匀光单元以及曝光组件；所述曝光组件包括：运动切换调整机构，用于实现不同规格硅片的曝光工位的切换；曝光镜头，安装在所述运动切换调整机构上，用于对硅片进行边缘曝光；绝对光强度检测机构，安装在所述运动切换调整机构上，用于对曝光区域的光强度进行校对检验；曝光计量检测机构，安装在所述运动切换调整机构上，实现曝光过程中曝光照度的监控；以及光阑切换机构，位置与所述曝光镜头对应；所述运动切换调整机构包括：运动模组安装组件、安装在运动模组安装组件上的平面运动模组、分别与所述平面运动模组连接的运动拖链组件和模组转接板，所述曝光镜头安装在所述模组转接板上，所述模组转接板具有水平方向X轴和Y轴的移动自由度。
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