[发明专利]抛光设备有效
| 申请号： | 201610506856.5 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106475887B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 鱼成宇;郑眩喆 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了抛光设备，所述抛光设备包括架单元，该架单元包括具有放置表面的衬底支承部，放置表面被配置为其上待放置具有第一曲率的衬底，放置表面具有与第一曲率对应的第二曲率；以及抛光单元，该抛光单元包括至少一个抛光部，该至少一个抛光部旋转以抛光衬底的加工表面。弯曲的衬底的加工表面可被均匀地抛光，并且防止在抛光加工期间产生的外来物质进入衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【主权项】：
抛光设备，包括：架单元，包括衬底支承部，所述衬底支承部包括放置表面，所述放置表面被配置为其上待放置具有第一曲率的衬底，其中，所述放置表面具有与所述第一曲率对应的第二曲率；以及抛光单元，包括至少一个抛光部，所述至少一个抛光部配置为旋转以抛光所述衬底的加工表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610506856.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
