[发明专利]基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置在审
| 申请号： | 201610508293.3 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106289066A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 楼俊;王倩;朱民;黄杰;沈为民 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置，解决了现有光路下等间距光栅无法满足某些特殊情况下对于球差，畸变等要求的问题，解决了在原有变间距光栅在原有普通光路的测量精度上实现加倍，包括：光源，析光镜，对称式变间距光栅、透镜，反射镜，限光狭缝，光电探测器。光源发出单色平面波经析光镜入射到透镜(3)上，调整为平行光经过光栅(4)。平行光经过透镜(5)聚焦在反光镜(6)上的m点处，经反光镜(6)反射，再经透镜(5)，调整为平行光，入射到光栅上(4)上，形成干涉。干涉光经透镜(3)、析光镜(2)和限光狭缝(7)聚焦到光电探测器(8)上。本发明在实际应用中，光路设计简便，体积较小，符合实际应用情况。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 对称 间距 光栅 倍频 读数 系统 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
基于对称式变间距光栅倍频式读数系统的微位移测量装置，包括光源，析光镜，对称式变间距光栅、透镜，反射镜，限光狭缝，光电探测器，光源发出单色平面波经析光镜入射到透镜(3)上，调整为平行光经过光栅(4)，平行光经过透镜(5)聚焦在反光镜(6)上的m点处，经反光镜(6)反射，再经透镜(5)，调整为平行光，入射到光栅上(4)上，形成干涉，干涉光经透镜(3)、析光镜(2)和限光狭缝(7)聚焦到光电探测器(8)上。
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