[发明专利]一种蒸镀坩埚及蒸发源装置有效
| 申请号： | 201610509433.9 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106148899B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨一帆 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸发源装置，涉及蒸镀技术领域，相对现有技术既可避免蒸镀过程中余留在坩埚主体底部的待蒸镀材料因多次循环加热而劣化变质，又可以避免蒸镀过程中出现的喷溅现象。该蒸镀装置包括：外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。用于显示面板的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙，所述第一上盖和所述第二上盖之间具有间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610509433.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种塑料板夹持冲孔机构
- 下一篇：一种塑料板切割机构
- 同类专利
- 专利分类
