[发明专利]一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统

摘要

本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构变换不同位置，遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。

主权项

1.一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，其特征在于，所述动力机构用于带动所述遮挡机构变换不同位置，所述遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板均位于所述蒸镀源的上方，且所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板在所述蒸镀源所在平面上的正投影分别位于所述蒸镀源的相对两侧；所述动力机构用于设置在所述蒸镀源的与所述待镀基板位置相对应的一侧，所述动力机构包括动力源、第一带动件和第二带动件，所述动力源与所述第一带动件活动连接，所述第一带动件与所述第二带动件活动连接，所述动力源能带动所述第一带动件转动，以使所述第一带动件带动所述第二带动件转动；所述遮挡机构连接所述第二带动件，所述遮挡机构能在所述第二带动件的带动下在与所述蒸镀源的轴线夹角为0‑90°的范围内顺时针和逆时针转动。