[发明专利]等离子体射流装置及抑制环氧树脂表面电荷积聚的方法在审
| 申请号： | 201610509779.9 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106132056A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 邵涛;海彬;王瑞雪;任成燕;章程;严萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26;C08J7/06;C08L63/00 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远;胡玉章 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体射流装置及抑制环氧树脂表面电荷积聚的方法。一种等离子体射流装置，包括：中空金属毛细管，其外部套有石英玻璃管，二者组合为大气压等离子体射流的射流管，所述射流管接高压电源同时接地，且所述中空金属毛细管的顶端设有进气口；加热平台，其位于所述射流管底部，所述加热平台上放置样品，且所述加热平台接地。本发明所述装置结构简单，方法简便易行、效果持久、处理效率高、对环境影响小，因此适合于工业生产应用。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 射流 装置 抑制 环氧树脂 表面 电荷 积聚 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体射流装置，其特征在于，包括：中空金属毛细管(2)，其竖直放置，所述中空金属毛细管(2)外部套有石英玻璃管(3)，所述石英玻璃管(3)与所述中空金属毛细管(2)组合为大气压等离子体射流的射流管；其中，所述中空金属毛细管(2)的顶端设于所述石英玻璃管(3)的顶部上方，且所述中空金属毛细管(2)的顶端设有进气口，所述中空金属毛细管(2)的底端与所述石英玻璃管(3)的底部管口留有距离；所述中空金属毛细管(2)接高压电源A(1)，所述石英玻璃管(3)上位于所述底部管口与中空金属毛细管(2)底端之间贴有贴片铜箔(11)，用来接地；加热平台(5)，其位于所述射流管底部，所述加热平台(5)上放置样品，且所述加热平台(5)接地；气路A(6)和气路B(9)，其中，所述气路A(6)中的气体作为载气先通入装有含Si反应前驱物的鼓泡瓶(10)中，载气将含Si反应前驱物带出后再通入气路C(4)中，所述气路B(9)的气体作为激发气体通入气路C(4)中，所述气路C(4)内的混合气体通过所述中空金属毛细管(2)的进气口通入所述中空金属毛细管(2)内。
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