[发明专利]具有自动基准化的红外成像系统有效

专利信息
申请号: 201610510354.X 申请日: 2016-06-30
公开(公告)号: CN106323477B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: A·格特勒;A·克莱泽斯基;R·P·特拉 申请(专利权)人: 安捷伦科技有限公司
主分类号: G01J5/08 分类号: G01J5/08
代理公司: 北京坤瑞律师事务所 11494 代理人: 封新琴
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了用于在无需移除正成像的样本的情况下在生成中红外(MIR)图像期间获得基准样本的方法和装置。可调谐MIR激光器生成汇聚到在第一方向上移动标本的标本级上的标本上的光束。光学组件包括:扫描组件,其具有聚焦透镜;以及镜,其相对于级在与第一方向不同的第二方向上移动,使得聚焦透镜在聚焦透镜与标本级之间保持固定距离。光检测器测量离开标本上的点的光的强度。控制器从所测量的强度形成图像。基准级定位为使得镜响应于命令在基准级上移动,使得控制器也可以进行基准测量。
搜索关键词: 具有 自动 基准 红外 成像 系统
【主权项】:
一种装置,包括:可调谐中红外(MIR)激光器,其生成光束;标本级,其适用于承载待扫描的标本,所述级在第一方向上移动所述标本;光学组件,其将所述光束汇聚到所述标本上的点,所述光学组件包括扫描组件,其具有:聚焦透镜,其将所述光束汇聚到所述标本上的点;以及镜,其相对于所述级在第二方向上移动,使得所述聚焦透镜在所述聚焦透镜与所述标本级之间保持固定距离,所述第一方向与所述第二方向不同。第一光检测器,其测量离开所述标本上的所述点的第一光强度;控制器,其从所述第一光强度形成MIR图像;以及基准级,其定位为使得所述镜响应于来自所述控制器的命令在所述基准级上移动。
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