[发明专利]一种离子束刻蚀机及其刻蚀方法有效
| 申请号： | 201610510558.3 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN105957790B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 施春燕 | 申请（专利权）人： | 苏州至臻精密光学有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,吴少峰 |
| 地址： | 215636 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子束刻蚀机。离子束刻蚀机包括真空工作腔室、工件安装平台、多轴运动系统、离子源，多轴运动系统包括多个依次连接的直线运动模组，相邻的直线运动模组之间相互垂直，直线运动模组包括直线导轨和直线运动元件，后级直线运动模组与前级直线运动元件相连并能在前级直线运动元件的带动下直线运动，离子源安装在末级直线运动元件上，离子源能够形成离子束并在多轴运动系统的带动下沿多个方向运动扫描刻蚀工件。将离子源安装在能够多方向运动的多轴运动系统上，离子束能够运动扫描对工件刻蚀，离子束刻蚀机能够采用较小口径的离子源完成对大尺寸的工件的刻蚀加工，有效降低了离子束刻蚀机对离子源口径的要求，从而降低了设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 刻蚀 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种离子束刻蚀机，用于工件（100）的加工刻蚀，其特征在于：所述离子束刻蚀机包括封闭的真空工作腔室（1）、工件安装平台（4）、多轴运动系统（2）、离子源（3）、能够接受人工控制指令的人机互动单元和控制单元，所述工件安装平台（4）、多轴运动系统（2）和离子源（3）均安装在真空工作腔室（1）内，所述工件安装平台（4）用于工件（100）的固定装夹，所述多轴运动系统（2）包括多个依次连接的直线运动模组，所述的多个依次连接的直线运动模组包括末级直线运动模组，所述末级直线运动模组为多个依次连接的直线运动模组中的最后一个直线运动模组，每一个直线运动模组包括直线导轨和能够在直线导轨上来回直线运动的直线运动元件，所述的多个依次连接的直线运动模组中相邻的直线运动模组包括前级直线运动模组和后级直线运动模组，所述的前级直线运动模组和后级直线运动模组之间相互垂直，所述的后级直线运动模组与前级直线运动模组的直线运动元件相连并能在前级直线运动模组的直线运动元件的带动下直线运动，所述人机互动单元与控制单元连接，所述控制单元能够根据人机互动单元反馈的控制指令控制直线运动元件运动，所述离子源（3）安装在多轴运动系统（2）的末级直线运动模组的直线运动元件上，所述离子源（3）能够形成离子束并在多轴运动系统（2）的带动下沿多个方向运动扫描进行工件（100）的刻蚀。
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