[发明专利]一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机

摘要

一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜系统，每个镀膜系统包括卷绕装置、溶液槽、烧结炉、排气风机，卷绕装置包括用于换向的第一滑轮和第二滑轮，用于实现多次镀膜的上、下滚轮组；基材通过放卷盘进入镀膜系统，经第一滑轮换向后卷绕于下滚轮组的一个滚轮上，依次通过溶液槽和烧结炉后完成一次成膜，经上滚轮换向后继续进入下滚轮组中的另一个滚轮上，开始第二次成膜，多次重复，直到下滚轮组的滚轮上全部卷绕基材后，完成薄膜的沉积。本发明卷绕镀膜机在不增加溶液槽和烧结炉的情况下实现了一次卷绕周期内基材双面多层膜的沉积，大大提高了卷绕镀膜机双面镀膜的效率，可实现长带材上多层薄膜的沉积。

主权项

一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜系统，每个镀膜系统包括卷绕装置、溶液槽、烧结炉、排气风机，所述溶液槽和烧结炉用于实现在基材上镀膜，所述排气风机用于及时将烧结炉内的气体排出，所述卷绕装置用于实现基材的放卷和收卷，其特征在于，所述卷绕装置包括用于换向的第一滑轮和第二滑轮，用于实现多次镀膜的上、下滚轮组，所述下滚轮组上的滚轮比上滚轮组上的滚轮多一个，下滚轮组完全浸泡于溶液槽内，上滚轮组与下滚轮组之间设置烧结炉；基材通过放卷盘进入镀膜系统，经第一滑轮换向后卷绕于下滚轮组中的一个滚轮上，依次通过溶液槽和烧结炉后完成一次成膜，然后经上滚轮换向后继续进入下滚轮组中的另一个滚轮上，开始第二次成膜，多次重复，直到下滚轮组的滚轮上全部卷绕基材后，完成薄膜的沉积，最后通过第二滑轮将沉积有薄膜的基材送入下一个镀膜系统或者经收卷盘送出。