[发明专利]一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置及获取方法

摘要

本发明涉及一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置及获取方法，属于激光设备技术领域，所述获取装置包括放大系统和监测设备，沿着激光传输方向，所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二，所述空间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器，所述光束反射器包括入射面、第一反射面和第二反射面，所述入射面与激光光路设置为近垂直结构，所述激光经第一反射面反射至第二反射面形成纵向位移，所述纵向位移等于空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距离，本发明可以避免多程放大激光系统中多级空间滤波小孔阵列对孔像带来的影响，孔像边沿清晰度高，孔像轮廓规整，获得形心位置的精度高。

主权项

1.一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，包括放大系统和监测设备，沿着激光传输方向，所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二，其特征在于：所述空间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器，所述光束反射器包括入射面、第一反射面和第二反射面，所述入射面与激光光路设置为近垂直结构，所述激光经第一反射面反射至第二反射面形成纵向位移，所述纵向位移与空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距离匹配，所述光束反射器设置为等腰直角棱镜，其斜边作为入射面，其两条直角边分别作为第一反射面和第二反射面；采用所述装置获取多程放大激光系统小孔孔像的方法，包括如下步骤：(1)将空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为大孔状态；(2)向放大系统注入激光，激光穿过空间滤波小孔阵列一的初程小孔入射至等腰直角棱镜，并经第二反射面出射后，依次穿过空间滤波小孔阵列一的末程小孔、空间滤波小孔阵列二，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像一；(3)将空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为滤波孔状态；(4)重复步骤(2)，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像二；(5)对采集的孔像一和孔像二进行处理并分别确定形心，作为空间滤波小孔阵列一、空间滤波小孔阵列二的末程小孔的基准中心。