[发明专利]一种用于薄膜材料热物理特性的测量器件

摘要

本发明涉及材料测量与分析领域，具体涉及一种用于薄膜材料热物理特性的测量器件。该测量器件，从下至上依次包括支撑层、绝缘导热层、电阻丝和导体丝层。本发明采用电阻丝同时作为加热器与传感器，通过测量电压探针导体丝间的电阻丝裸露部分的阻温特性，得到电压探针导体丝间的电阻丝裸露部分的温度‑时间曲线，测试时使用设置空白对照的方法；得到薄膜的热容‑温度曲线。本发明具有结构简单，制作工艺简单，测试速率快，测试精度高等特点，为薄膜的热物理特性测试提供了一种有效的方法。

主权项

一种用于薄膜材料热物理特性的测量器件，其特征在于：从下至上依次包括支撑层、绝缘导热层、电阻丝和导体丝层；支撑层用于支撑整个器件结构；绝缘导热层制备于支撑层上，用于热传导及电绝缘；电阻丝制备于绝缘导热层上，包括被导体丝覆盖部分与裸露部分；电阻丝的裸露部分用于对样品加热和样品热物理特性表征；导体丝层包含4个部分：2个输入电极导体丝，设置于电阻丝两端的上方；2个电压探针导体丝，在电阻丝的侧面与其点接触，并垂直于接触点所在电阻丝裸露部分的边缘；被导体丝覆盖部分的电阻丝即电阻丝两端被输入电极导体丝覆盖的部分，2个输入电极导体丝之间部分的电阻丝为裸露部分；所述支撑层的几何中心开有矩形窗口作为测试窗口，其长度为电阻丝的裸露部分长度1.2～1.4倍、宽度为电阻丝宽度1.8～2.2倍、深度为支撑层厚度，开设位置与电阻丝的裸露部分空间上呈几何对称并对应。