[发明专利]一种变刚度并联柔性约束微纳测头

摘要

本发明公开了一种变刚度并联柔性约束微纳测头，包括圆环状的外壳，外壳的顶部设有上端盖，上端盖的内侧中心吊装一个载物体，外壳的底部通过外壳承载台连接一个变刚度并联柔性约束机构，变刚度并联柔性约束机构在远离上端盖的一侧的中心设有测杆，测杆远离动平台的一端端部设有测球，本发明可以根据测量物体和工作过程的需求，改变柔性约束机构的横向刚度，以满足对测量工作的需求。

主权项

1.一种变刚度并联柔性约束微纳测头，包括圆环状的外壳(1)，外壳(1)的顶部设有上端盖(2)，上端盖(2)的内侧中心吊装一个载物体(5)，载物体(5)位于由外壳(1)围成的腔内，外壳(1)的底部通过外壳承载台(8)连接一个变刚度并联柔性约束机构，其特征在于：所述变刚度并联柔性约束机构包括动平台(18)和固定平台(9)，动平台(18)中间为圆形，圆形边缘外接三个相互间隔120°的矩形伸出端，三个外接的矩形伸出端靠近上端盖(2)的一侧表面均贴有移动反射镜(10)，动平台(18)与固定平台(9)之间通过三个矩形薄壁梁连接，三薄壁梁的一端分别与动平台(18)呈一整化结构，且三个薄壁梁分别与动平台(18)的矩形伸出端相互垂直并连接，三个薄壁梁的另一端分别固接在固定平台(9)的三个变形梁(21)上，变形梁(21)中间位置贴有压电陶瓷纤维片(17)，固定平台(9)呈等边三角形，固定平台(9)三个边角位置均设计有固定基座，每相邻两个固定基座之间通过一个变形梁(21)连接，每个固定基座上都有用于与外壳承载台(8)连接的圆孔，所述动平台(18)位于固定平台(9)的中心处；所述载物体(5)侧壁上均匀分布三个激光干涉仪(3)，相邻的两个激光干涉仪(3)之间的交角为120°，载物体(5)在激光干涉仪(3)的下方分别设有固定干涉镜(15)，每个激光干涉仪(3)对准一个固定干涉镜(15)，且激光干涉仪(3)与分布在动平台上的移动反射镜(10)一一对应；所述动平台(18)在远离上端盖(2)的一侧的中心设有测杆(11)，测杆(11)远离动平台(18)的一端端部设有测球(12)。