[发明专利]一种干膜快速显影方法在审
| 申请号： | 201610514223.9 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN106019861A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 付雷;黄勇;周睿;贺波 | 申请（专利权）人： | 奥士康精密电路（惠州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 童海霓;刘彦 |
| 地址： | 516002 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干膜快速显影方法，包括：前处理，以2～3m/min的传送速度对线路板依次进行酸洗、磨刷、水洗；贴膜，贴膜速度2.8‑3.0m/min，热压辘压力4.2‑4.5Kg/cm2，热压辘工作温度90‑100℃；曝光；显影，采用浓度0.8～1.2%的Na2CO3溶液显影，显影速度5～6m/min，显影液喷淋压力0.8‑1.2 Kg/cm 2，水洗压力1.0‑1.5Kg/cm 2，烘干温度50～60℃。本发明通过前处理对线路板依次进行的酸洗、磨刷、火山灰水洗，改善干膜填充能力、干膜附着力、进而提高贴膜的加工质量，并在后续的贴膜和显影步骤中对控制参数进行优化，有效缩短干膜显影整体时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 显影 方法 | ||
【主权项】：
一种干膜快速显影方法，包括步骤：前处理，以2～3m/min的传送速度对线路板依次进行酸洗、磨刷、水洗；贴膜，贴膜速度控制在2.8‑3.0m/min，热压辘压力4.2‑4.5Kg/cm2，热压辘工作温度控制在90‑100℃；曝光；显影，采用浓度0.8～1.2%的Na2CO3溶液显影，显影速度5～6m/min，显影液喷淋压力0.8‑1.2 Kg/cm 2，水洗压力1.0‑1.5Kg/cm 2，烘干温度50～60℃。
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