[发明专利]一种热释电红外探测器在审
| 申请号： | 201610514506.3 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106197688A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘子骥;梁志清;伍浏权;王涛 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/34 | 分类号： | G01J5/34 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热释电红外探测器，属于热释电探测器电子技术领域。本发明热释电红外探测器中探测单元包括：吸收层(1)、传感区和介质层(2)，所述吸收层(1)的材料为具有多孔结构的黑金金属，所述传感区设于吸收层(1)与介质层(2)之间，并包括热释电晶体层(4)、钛金属层(3)和反射层(5)；所述热释电晶体层(4)包括第一表面和与第一表面相反的第二表面，钛金属层(3)设于热释电晶体层的第一表面，并且所述钛金属层(3)与所述介质层(2)接触，反射层(5)设于热释电晶体层的第二表面。本发明通过增加钛金属层以实现黑金材料更好地集成在热释电探测器上；本发明通过实现热释电探测器的吸收层具有高吸收率和较小的热容，从而提高了器件的响应速度和敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热释电 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种热释电红外探测器，其特征在于，其热释电探测单元包括：吸收层(1)、传感区和介质层(2)，所述吸收层材料为具有多孔结构的黑金金属，所述传感区设于吸收层(1)与介质层(2)之间，并包括热释电晶体层(4)、钛金属层(3)和反射层(5)；所述热释电晶体层(4)包括第一表面和与第一表面相反的第二表面，钛金属层(3)设于热释电晶体层的第一表面，并且所述钛金属层(3)与所述介质层(2)接触，反射层(5)设于热释电晶体层的第二表面。
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