[发明专利]液滴排出装置和液滴排出方法有效
| 申请号： | 201610514611.7 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106311524B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 吉富济;尾上幸太朗;筱崎贤哉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;王雪燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使功能液滴排出头与工件上的围堤部高精度地对位的液滴排出装置。该液滴排出装置(1)包括液滴排出头(34)、工件载置台(20)和第1拍摄装置(41)，工件(W)沿主扫描方向(X轴方向)移动了规定的距离时基于由第1拍摄装置(41)取得的拍摄图像来检测形成在工件(W)上的基准标记的位置，并且基于由移动量检测机构(23)检测的工件载置台(20)的移动量来推测基准标记的位置，接着，基于图像检测出的基准标记的位置与基于工件载置台(20)的移动量推测的基准标记的位置的相关关系，修正工件(W)与液滴排出头(34)的相对位置。由此，能够使功能液滴排出头与工件上的围堤部高精度地对位。 | ||
| 搜索关键词： | 排出 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种将功能液的液滴排出并描绘到工件上的液滴排出装置，其特征在于，包括：对配置在液滴排出位置的所述工件排出液滴的液滴排出头；载置所述工件的工件载置台；使所述液滴排出头与所述工件在主扫描方向、与所述主扫描方向正交的方向和旋转方向上相对地移动的工件移动机构；检测所述工件移动机构使所述工件载置台向主扫描方向移动的移动量的移动量检测机构；对在所述工件的主扫描方向上位于所述液滴排出头的上游侧的、预先形成在移动中的所述工件的上表面的基准标记进行检测的标记检测单元；基于所述工件沿所述主扫描方向移动了规定的距离时由所述移动量检测机构检测的移动量，推测所述基准标记的位置的标记位置推测部；和工件移动控制部，其基于所述工件移动了所述规定的距离时由所述标记检测单元检测出的所述基准标记的位置与所述工件移动了所述规定的距离时由所述标记位置推测部推测的所述基准标记的位置的相关关系，控制所述工件移动机构，以修正所述液滴排出位置上的所述工件与所述液滴排出头的相对位置。
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