[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201610514759.0 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN106338620B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 木暮翔太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物理量的检测精度较优异的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；元件片(4)，其被接合在底基板(2)上。此外，元件片(4)具有：固定部(481)、(491)，其被固定在底基板(2)上；第一固定电极指(483)，其被固定部(481)支承；第二固定电极指(493)，其被固定部(491)支承；固定部(41)，其位于固定部(481)、(491)之间，且被固定在底基板(2)上；可动部(42)，其能够相对于固定部(41)而进行位移；弹性部(43)，其对固定部(41)与可动部(42)进行连结；第一可动电极指(423)，其被可动部(42)支承，且与第一固定电极指(483)对置配置；第二可动电极指(424)，其被可动部(42)支承，且与第二固定电极指(493)对置配置。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；元件片，其被配置在所述基板上，所述元件片具有：第一固定部，其被固定在所述基板上；第二固定部，其被固定在所述基板上；第一固定电极指，其被所述第一固定部支承，且相对于所述第一固定部而位于与所述第二固定部相反一侧；第二固定电极指，其被所述第二固定部支承，且相对于所述第二固定部而位于与所述第一固定部相反一侧；第三固定部，其位于所述第一固定部与所述第二固定部之间，且被固定在所述基板上；可动部，其能够相对于所述第三固定部而进行位移；弹性部，其以能够使所述可动部进行位移的方式与所述第三固定部连结，且至少一部分位于所述第一固定电极指与所述第二固定电极指之间；第一可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第一固定电极指对置配置；第二可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第二固定电极指对置配置。
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