[发明专利]基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统有效

专利信息
申请号: 201610515929.7 申请日: 2016-07-01
公开(公告)号: CN106571328B 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 郑光镐;崔明雲;金永国;徐制亨;廉胜晧;卓成勋 申请(专利权)人: 延原表股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 孙昌浩;李盛泉
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开一种基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统,其旨在提供更加简化的卡定方法及卡定系统,尤其提供一种可稳定地卡定所述基板并易于解卡定的新型卡定方法及卡定系统。为此,使基板与卡盘板的导电板携带极性相反的电荷,从而使强力的静电引力波及到紧贴的界面处而引起强烈的卡定。即使在基板与卡盘紧贴的情况下将界面放大而观察,依然会发现界面不平整且呈现一种不规则的凹凸状,因此将会具有完全吻合的部分和处于相离状态的部分,其中紧贴部分处的静电引力极强,从而可以实现强力卡定。对此,使基板和导体板带电并紧贴,从而促发极强的卡定。基板与导体板紧贴的界面处的离距极小,因此与距离的平方成反比的库仑力的作用强烈。
搜索关键词: 基于 带电 处理 板卡 方法 系统
【主权项】:
1.一种基板卡定方法,利用卡盘板夹持基板而移动基板的同时执行对于基板的处理工序,其特征在于,包括如下步骤:利用离子发生器或摩擦电使所述基板的一个表面或两个表面携带静电,从而在基板形成静电;将携带静电的基板安置于卡盘板,所述卡盘板由导体构成或者由具有绝缘体涂覆膜的导体构成,在所述卡盘板面感应生成具有与在基板带电的电荷相反的极性的自由电荷,从而利用静电引力使所述基板与所述卡盘板贴附。
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