[发明专利]用于晶片级器件辐射效应试验的X射线辐照测试设备在审

专利信息
申请号: 201610516216.2 申请日: 2016-07-04
公开(公告)号: CN106199372A 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 李豫东;于新;于刚;文林;何承发;郭旗 申请(专利权)人: 中国科学院新疆理化技术研究所
主分类号: G01R31/265 分类号: G01R31/265;G01R31/303
代理公司: 乌鲁木齐中科新兴专利事务所 65106 代理人: 张莉
地址: 830011 新疆维吾尔*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 发明涉及用于晶片级器件辐射效应试验的X射线辐照测试设备,该设备是由X射线辐照装置、显微成像装置、探针台、冷却与空气循环装置、辐射测量装置、控制与测试分系统、框架、水平导轨、高压程控电源、X射线控制器、UNIDOS剂量仪、控制计算机、半导体参数测试仪、示波器和矩阵开关组成,该设备实现晶片级器件的辐照与在线辐射效应参数提取及实时监测;并实现辐照测试的一体化、操作的自动化,可显著提高辐照与测试的稳定性与效率。该设备直接对晶片级器件进行试验,摒除了器件封装材料、封装结构、引线及封装过程引入的一些不确定因素的影响,可显著降低参数提取的偏差;消除了辐照、测试环境交替以及测试时间延迟给试验结果带来的影响。
搜索关键词: 用于 晶片 器件 辐射 效应 试验 射线 辐照 测试 设备
【主权项】:
一种用于晶片级器件辐射效应试验的X射线辐照测试设备,其特征在于该设备是由X射线辐照装置、显微成像装置、探针台、冷却与空气循环装置、辐射测量装置、控制与测试分系统、设备框架、高压程控电源、X射线控制器、UNIDOS剂量仪、控制计算机、半导体参数测试仪、示波器和矩阵开关组成,在框架(1)的顶端设置有冷却与空气循环装置(4),冷却与空气循环装置(4)通过电缆与控制与控制计算机(14)连接;在框架(1)内中部设置有探针台(6),在探针台(6)中间设置有放置晶片级器件(9)的卡盘,在探针台(6)四周分别吸附有对称的探针座(10),通过探针与晶片级器件(9)建立电学连接关系;在探针台(6)两侧固定有水平导轨(8),X射线辐照装置(2)和显微成像装置(5)分别安装在水平导轨(8)上;在探针台(6)的一侧固定辐射测量装置(3),与UNIDOS剂量仪(13)相连;在探针台(6)底部的机柜中分别设置有高压程控电源(11)、X射线控制器(12)和UNIDOS剂量仪(13);高压程控电源(11)通过高压电缆为X射线辐照装置(2)提供电源输入;X射线控制器(12)通过电缆为高压程控电源(11)输入控制指令;在控制与测试分系统(7)中分别有控制计算机(14)、半导体参数测试仪(15)、示波器(16)和矩阵开关(17);半导体参数测试仪(15)通过电缆连接矩阵开关(17);控制计算机(14)通过电缆分别控制X射线控制器(12)、显微成像装置(5)和框架(1);矩阵开关(17)和示波器(16)通过同轴电缆与探针座连接,具体操作按下列步骤进行:a、将晶片级器件(9)放置在探针台(6)中卡盘中心吸附固定,并用同轴电缆连接探针座(10)与示波器(16);b、在显微成像装置(5)的视野下调节探针座(10),将探针扎在晶片级器件(9)的测试触点上,并将显微成像装置(5)移开;c、将X射线辐照装置(2)移至晶片级器件(9)的上方,出束口与晶片级器件(9)对准;d、通过控制计算机(14)设置X射线能量、束流和辐照时间,并开始辐照,同时开启冷却与空气循环装置(4),在测试模式下,矩阵开关(17)通过同轴电缆连接探针座(10),半导体参数测试仪(15)通过电缆控制矩阵开关(17);e、辐照过程中通过示波器监测晶片级器件(9)的参数是否正常,在辐照监测模式下,示波器(16)通过同轴电缆连接探针座(10),对晶片级器件(9)进行监测;剂量仪(13)通过电缆获取辐射测量装置(3)的测量数据;f、辐照结束后将晶片级器件(9)与矩阵开关(17)连接,通过半导体参数测试仪(15)对辐照后的晶片级器件(9)进行参数测试。
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