[发明专利]NbBN复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610516493.3 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106191771A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 喻利花;许俊华;陈建 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本文发明公开了一种NbBN复合涂层及其制备方法，是在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O。本发明进一步提高NbN涂层的力学性能、抗腐蚀性能和耐磨损性能，使其成为具有优异的综合性能的保护涂层，以便在高速、干式切削和防腐蚀等领域中有更广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | nbbn 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种NbBN复合涂层，其特征在于在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O；当Nb靶功率为200W，B靶功率为40W时，NbBN复合涂层在室温下同时具有高的显微硬度、高的弹性模量、高的自腐蚀电位以及低的自腐蚀电流密度；当Nb靶功率为200W，B靶功率为60W时，具有在室温到500℃干摩擦下低的磨损率。
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